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離子束濺射的工作原理解析
- 2021-12-24-

離子束濺射的工作原理解析。

離子束濺射工作原理:

   目標溫度在常溫下的直流冷陰極二極管型,加負壓1-3kv,陽極接地。接上高壓后,陰極就能發射電子,電子的能量增加到1-3kev,轟擊真空下(3-10pA)的氣體,使它們離子化,激發出的電子在電場中被加速,繼續轟擊氣體,產生聯級電離,形成等離子體。這些離子以1~3kev的能量轟擊陰極靶,當能量大于目標原子的能量時,就會使靶原子或原子團脫離靶材,然后和等離子體內的剩余氣體碰撞,結果方向不同,落在樣品表面時,能在粗糙試樣表面形成厚度均勻的金屬膜,且與試樣結合強度高。當氣室內的氣體繼續流動時,離子流保持不變,保持不變。高電壓的功率決定了較大離子流量,通常存在較大離子流極限,用來保護電源。

離子束濺射裝置:

  一般而言,作用距離是可以調節的,距離越近,濺射速度越快,熱損傷越大。

   控制真空壓力,降低真空度,提高濺射速度,提高濺射速度,原子結晶顆粒變粗,離子流量增大;試樣中,電子轟擊產生較高的熱量,真空度較高,較小,濺射速率較慢,原子結晶晶粒較細,電子戰樣品產生的熱很少。

  加速度電壓是固定的,而且可以調節,加速電壓越高,對試樣的熱損越大。通常采用金屬靶的比例范圍。

  一些熱敏感的樣品,需要冷卻、水冷或帕爾片等樣品;也可使用磁控設備,將電子像電磁透鏡那樣與樣品分離。這種改造后,當然要增加很高的費用。能濺射到石蠟表面的金屬層,不會造成任何傷害!

  真空度越高,鍍層質量越差。一般而言,金的穩定性較高,可采用空氣作為電漿來源,而其它的許多目標需要惰性氣體。

  隨著氣體原子序數的增加,動量增大,濺射速度加快,但晶粒將變粗,形成連續的膜層變厚。

  真空室的清潔對于優質的鍍膜是非常有利的。

  不允許機械真空泵長期保持真空極限,否則容易倒油。




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