團簇式沉積設備應用

Cluster集群式半導體工藝系統，可集成PVD /PECVD /Etch /ALD/Plasma Clean / Annealing等工藝模塊,支持8-10個工位，穩定的高精度真空機械手臂，使基片在各腔室之間的高效傳輸。適用于工藝實驗研究、批量器件的制備等。

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