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蒸銦設備有哪些特征?
- 2021-12-25-

采用蒸發方式在襯底上蒸鍍微米級厚度的高質量銦柱,是實現高密度三維互連工藝的關鍵設備。

銦蒸鍍系統由工藝腔室、真空系統、電阻 發源系統、樣品臺系統、膜厚系統、離子源系統以及控制系統等組成。

樣品尺寸:≤200mm;

薄膜膜厚不均勻性:≤±5%;薄膜膜厚重復性≤±3%;

極限真空度:優于1E- 7Torr;

恢復抽真空時間:從大氣~5E-6Torr小于30分鐘;

系統漏率: 發室空氣泄漏率不大于 5E-5Torr.L/s;

樣品臺轉速可調,具有冷卻功能,溫度范圍-70℃至200℃;

集成一個 冷襯板組合,位于樣品臺垂直下方;

可進行在線膜厚測量,晶振膜厚控制儀集成于系統PLC,可用于蒸發源和擋板

的自動操作,能精確的進行過程控制。

工藝腔體采用鋁合金或不銹鋼;高度900毫米至1200毫米,內徑650毫米至700毫米,

保證蒸發鍍膜入射角度;

配置一套功率≥6KW的專用蒸發源,帶流量感應探頭的冷卻水回路,提供一套陰極離子源,用于樣品前處理;


以上就是今日小編為大家介紹的蒸銦設備。

感謝大家耐心看完小編分享的文章,如果有需要了解更多蒸銦設備及電子束蒸發鍍膜機的相關知識,歡迎聯系我們,24小時竭誠為您服務!


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