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電子束蒸發鍍膜機知識點介紹
- 2021-12-25-

電子束蒸發鍍膜機知識點介紹

儀器結構:

它主要由主機、控制系統、真空路等組成。

1.主機:包括電壓源、電子槍、坩堝等;

2.控制系統:工藝控制、溫控等系統;

3.真空氣路系統:將初空泵和低溫真空泵結合使用,使設備腔達到高真空狀態,滿足真空蒸發工藝的要求。

工作原理:

   電子束蒸發鍍膜機是實現蒸發過程的關鍵設備。抽真空蒸發室到真空狀態(一般是10-6tor)的級真空泵,電子束蒸發鍍膜機是利用高溫燈絲產生的中高能電子束,采用電子束掃描器控制高能量電子束轟擊蒸發源坩堝(水冷)材料,快速熔解材料達到蒸發溫度,形成物質的蒸汽云。將坩堝底部的蒸氣云在真空中凝結成一層薄膜。

儀器特點

1.目標幾乎涵蓋所有無機材料。

2.蒸發率高。

3.均勻性好。

4.高熔點材料可鍍。

電子束蒸發鍍膜機應用場景

  鈦、鋁、鉑、鎳、銅、鎢等金屬薄膜材料。其主要應用領域有半導體集成電路芯片制造、無線通訊芯片制造、微機電系統芯片制造、光通信芯片制造、半導體激光芯片制造、先進的納米設備制造等。

  感謝大家耐心看完小編分享的文章,如果有需要了解更多電子束蒸發鍍膜機及反應離子刻蝕機的相關知識,歡迎聯系我們,24小時竭誠為您服務!



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