北京時代天啟真空科技有限公司
地址：北京市朝陽區天朗園C座3層豐收孵化器產業園
聯系人：張經理
電話：15010907160
郵箱：alexzhang@timestorch.com.cn
河北工廠：（真空部件定制加工）
地址：河北省涿州市松高路念瞳村廠房
v 功能特點
用于超導量子實驗室制備超導結（量子比特和約瑟夫森結）和量子器件，可以制備大面積、高穩定性和可重復性超導結。
ü 四腔室超高真空系統
ü 進樣室（LoadLock,預處理）
ü 離子銑室（Ion Milling Chamber）
ü 電子束蒸發室（E-beam Chamber）
ü 氧化室（OXIDATION Chamber）
ü 超高真空傳輸系統(UHV Tunnel integration system)
離子束刻蝕機
激光直寫光刻機
電子束蒸發鍍膜機
團簇式沉積設備
原子層沉積設備
