蒸銦設備
產品詳情
v 功能特點
ü 樣品尺寸8"
ü 液體介質加熱、冷卻樣品臺，-70℃-200℃或-40℃-200℃可選
ü 樣品臺可旋轉，轉速0-30RPM可調
ü 樣品臺可升降調節，0-100mm距離可調
ü 帶有工藝恒溫器系統
ü 高速率蒸發源，蒸發源坩堝28cc，優化的剝離工藝具有均勻和高度準直的沉積通量,功率6kw,帶水冷功能
ü 可鍍膜厚度10um-15um
ü 可增加全自動銦粒給料機，滿足更厚鍍膜厚度需求，厚度大于40um以上均可
ü 集成考夫曼離子源Gridded Ion Source
ü 全自動在線膜厚檢測，8晶振探頭自動切換，帶水冷
ü LOAD-LOCK全自動或手動進樣系統
ü 高真空無油系統：低溫冷凝泵+前級干泵系統
v 蒸銦效果圖
詢盤